Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions präsentiert die mehrstufigen Roots-Vakuumpumpen UltiDry
Die UltiDry wurde für anspruchsvolle Halbleiteranwendungen entwickelt und kombiniert robuste Leistung mit hoher Energieeffizienz und Prozessflexibilität.
Die UltiDry wurde für anspruchsvolle Halbleiteranwendungen entwickelt und kombiniert robuste Leistung mit hoher Energieeffizienz und Prozessflexibilität.